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用于单晶炉的液体吸取装置和液体吸取装置的控制方法.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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用于单晶炉的液体吸取装置和液体吸取装置的控制方法.pdf

    本发明公开了一种用于单晶炉的液体吸取装置和液体吸取装置的控制方法，单晶炉具有晶体生长室和拉晶室，拉晶室通过连通口与晶体生长室连通，液体吸取装置包括储存容器、抽吸管和抽吸组件，储存容器适于设于拉晶室内，储存容器内限定出储存空间，且储存容器上形成有液体进口和通气口，液体进口和通气口分别与储存空间连通，抽吸管设在储存容器上且抽吸管内限定出抽吸通道，抽吸通道与液体进口连通，抽吸管适于通过连通口伸入晶体生长室内，抽吸组件与通气口连通以减小储存空间内的压力。根据本发明的用于单晶炉的液体吸取装置，可以及时移除

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112342612 A (43)申请公布日 2021.02.09 (21)申请号 202010981598.2 (22)申请日 2020.09.17 (71)申请人 徐州晶睿半导体装备科技有限公司

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