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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明公开了一种光刻机用混合光源发生装置，包括激光源、LED光源组件、激光限位板、光源基座和底座，所述激光限位板、光源基座和底座从上到下顺序排列；所述光源基座的中心设有激光源安装位，所述光源基座上还设有围绕所述激光源安装位分布的LED光源安装位，所述激光源的一端贯穿所述激光限位板，另一端安装在所述激光源安装位上；所述LED光源组件安装在所述LED光源安装位上；所述底座与光源基座连接形成一空腔，所述底座上设有出光口；其中，所述激光源与所述出光口位于同一轴线上。本发明中，激光源作为主光源，LED光源
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112379576 A
(43)申请公布日 2021.02.19
(21)申请号 202011363096.X
(22)申请日 2020.11.28
(71)申请人 东莞科视自动化科技有限公司
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