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一种基板传送装置、控制方法及相关设备.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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一种基板传送装置、控制方法及相关设备.pdf

    本申请涉及一种传送装置，具体公开了一种基板传送装置、控制方法及相关设备，装置包括滑轨、滑台、恒温平台和吸附平台，滑台滑动设置在滑轨上，滑台用于承托基板并带动基板移动；恒温平台安装在滑台上方；恒温平台内置有第一腔室，第一腔室与外部的供水机连接以向第一腔室循环注入预设温度的液体；恒温平台能够导热；吸附平台，吸附平台紧贴在恒温平台上方，吸附平台内置有第二腔室且上表面设置有多个与第二腔室连通的通孔；第二腔室与外部的真空发生器连接以使基板吸附在吸附平台的上表面；吸附平台能够导热，本申请的基板传送装置能够在

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115818207 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202310098614.7 B41J 3/407 (2006.01) (22)申请日 2023.02.

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