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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明公开了一种声波器件晶圆级封装结构及其制备方法，方法包括：将声波器件设置在载体晶圆的上表面，在载体晶圆的上表面覆盖第一膜层，并刻蚀掉预设位置处的第一膜层，以形成墙体结构，预设位置包括第一预设位置和第二预设位置，第一预设位置为声波器件所在的位置、第二预设位置为用于引出声波器件的焊盘的位置；在墙体结构的上方覆盖第二膜层，并刻蚀掉第二预设位置处的第二膜层，以形成屋顶结构；在第二预设位置填充导电层，以得到声波器件的焊盘引出部分，并在焊盘引出部分的上方设置金属焊盘，以得到声波器件晶圆级封装结构。本申请
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111200410 A
(43)申请公布日
2020.05.26
(21)申请号 20181
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