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喷淋装置及清洗设备.pdfVIP

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  • 2023-05-28 发布于四川
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喷淋装置及清洗设备.pdf

    本发明提供一种喷淋装置及清洗设备，该喷淋装置包括第一喷嘴，该第一喷嘴包括：进液通道，用于输送清洗液体；雾化结构，与进液通道的出液端连接，用于将自进液通道流出的液体雾化形成液滴；进气通道，用于输送气体；以及喷气结构，与进气通道的出气端连接，用于喷出气体，以能够与液滴碰撞形成雾化颗粒。本发明提供的喷淋装置，其不仅可以提高清洗均匀性和清洗效率，改善清洗工艺结果，而且可以在一定程度上减小液滴对待清洗表面的冲击力，从而可以减少对晶片表面图形的损伤。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111162023 A (43)申请公布日 2020.05.15 (21)申请号 20181

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