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- 2023-05-28 发布于四川
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本发明公开了一种石墨基座盘表面梯度TaC涂层及其制备方法，包括石墨基座盘基体，石墨基座盘基体的表面设有梯度TaC涂层；梯度TaC涂层包括TaC组份和C组份，TaC组份含量从内至外从0%逐渐增加到100%，且梯度分布符合y
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112374891 B
(45)授权公告日 2021.11.23
(21)申请号 202011278669.9 C04B 35/622 (2006.01)
(22)申请日
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