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致密靶.pdfVIP

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  • 2023-05-29 发布于四川
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致密靶.pdf

    溅射靶包括具有至少600mm长度的至少一个单片。所述溅射靶包含背衬结构，该背衬结构设置有用于溅射的靶材料。靶材料的至少40质量％包括所谓的靶挥发性材料，所述靶挥发性材料在700hPa至1300hPa的压力下显示出升华温度，或低于其熔点的分解温度，或彼此接近的熔化温度和绝对沸腾温度。所述溅射靶的靶材料密度是靶材料理论密度的至少95％。该溅射靶包含介于背衬结构和靶材料之间的厚度为0至500μm的结合层。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115836039 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202180049275.2 J ·D ·埃德尔　 (22)申请日 2021.07.14

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