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2023-05-29 发布于四川
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基板的偏心降低方法及示教装置.pdf

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本发明提供一种能够避开缺口测量基板周边的位置，并高精度地降低基板的偏心量的技术。在第一工序中使基板(W)旋转。在第二工序中，摄像头依次拍摄基板的周边，获取多个图像(IM1)。在第三工序中，针对多个图像执行缺口检测处理。在第四工序中，将在多个图像内沿着第一轴延伸的测量区域(MR1)在第二轴上的位置设定为：测量区域在多个图像的任一个中均不包含缺口(NT1)而包含基板的周边。在第五工序中，针对包含基板的旋转位置和测量区域中的基板的周边的位置的绘图点，进行曲线插值处理求出正弦波。在第六工序中，根据该正弦

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112397407 A (43)申请公布日 2021.02.23 (21)申请号 202010771262.3 (22)申请日 2020.08.04 (30)优先权数据 2019-1497

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