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一种S波段窄带压电单晶复合薄膜的声表面波滤波器.pdfVIP

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  • 2023-05-29 发布于四川
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一种S波段窄带压电单晶复合薄膜的声表面波滤波器.pdf

    本发明公开了一种S波段窄带压电单晶复合薄膜的声表面波滤波器，包括压电衬底、绝缘层、压电薄膜层和电极层，所述绝缘层设于所述压电衬底和所述压电薄膜层之间，且所述绝缘层的两个端面分别与所述压电衬底和所述压电薄膜层键合为一体，所述电极层设于所述压电薄膜远离所述绝缘层的表面，且所述绝缘层采用能够隔离电流的材料制成。本方案声表面滤波器的声速高于4400m/s，在频率大于2GHz情况下，该结构的Q值高于2000，相对带宽0.1%~1.5%，以满足雷达、卫星通信电子和移动终端对高性能窄带滤波器的要求。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115833786 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202211673391.4 H03H 9/17 (2006.01) (22)申请日 2022.12.2

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