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本发明公开了一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法，其技术方案是：包括铂粉和镍粉，所述铂粉和镍粉质量份数为：铂粉05‑65份，镍粉35‑95份。包括以下步骤：S1：将铂粉和镍粉混合均匀，并过滤大颗粒杂质，保留大小均等的粉末状颗粒；S2：将S1中过滤后保留下来的粉末颗粒倒入酒精内浸泡清洗，一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法有益效果是：通过使用粉末冶金的方式，区别于传统的熔炼方法，粉末冶金得到的镍铂合金靶材具有更好的致密度，在实际使用测试中，其与基材拥有更好的附着性能，使用更加方便可靠，同时粉末冶金相对于传
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112410608 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011286540.2
(22)申请日 2020.11.17
(71)申请人 昆山
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