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一种基板清洗干燥装置.pdfVIP

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  • 2023-05-29 发布于四川
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一种基板清洗干燥装置.pdf

    本发明公开了一种基板清洗干燥装置，包括上盖板、下盖板、挡水罩、喷水管、流道板、固定结构以及旋转升降台，上盖板中部开设有避让口；下盖板设于上盖板下方，与上盖板之间通过支撑杆固定连接，下盖板上开设有排水孔；挡水罩设于上盖板和下盖板之间，且与下盖板之间密封连接；喷水管延伸至挡水罩内对基板进行清洗；流道板用于放置基板；固定结构设置流道板上，用于将基板固定在流道板上；旋转升降台用于驱动流道板升降，使流道板从避让口下降至挡水罩内，并使流道板在挡水罩内旋转，对基板进行清洗和甩干，使基板干进干出，避免清洗的水流

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115831821 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202211589698.6 (22)申请日 2022.12.12 (71)申请人 上海世禹精密机械有限公司 地址 2

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