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本发明提供了一种具有极高Q值的氮化铝lamb波谐振器及加工方法，包括：电极、薄膜(2)；所述电极包括：叉指电极(1)、底电极(3)；所述叉指电极(1)的一端接入RF信号；所述叉指电极(1)的另一端与地相连；所述底电极(3)采用电性浮接；所述薄膜(2)设置于叉指电极(1)、底电极(3)之间。本发明通过采用压电薄膜，解决了其他常规压电薄膜很难与半导体工艺兼容、介电常数过高、机械品质因数低等问题。这使得本专利所提出的谐振器在高灵敏度智能传感器的应用中能发挥更加优越的性能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112421200 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011309982.4
(22)申请日 2020.11.20
(71)申请人 浙江信唐智芯科技有限公司
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