激光预分割装置及激光预分割方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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激光预分割装置及激光预分割方法.pdf

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本发明涉及激光加工技术领域，尤其涉及一种激光预分割装置及激光预分割方法。激光预分割装置用于加工蓝宝石衬底的LED晶圆片，包括加工平台、运动控制机构、视觉检测机构及光学机构，加工平台用于固定蓝宝石衬底的LED晶圆片，运动控制机构能够驱动加工平台或光学机构移动，视觉检测机构用于检测加工平台与光学机构的相对位置；光学机构包括激光器、无衍射光束产生模块及光束整形模块，激光器能够发出初始激光束，且初始激光束通过无衍射光束产生模块后能够形成初始无衍射光束，初始无衍射光束通过光束整形模块后能够形成整形无衍射光

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112427814 A (43)申请公布日 2021.03.02 (21)申请号 20191