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本发明公开了一种基于微波水热法以快速制备超薄外延铁酸铋薄膜的方法,该方法的制备流程为首先通过氧等离子体清洗钙钛矿结构的单晶衬底,以获得活化的表面,然后将衬底放在定制的聚四氟乙烯模具中,放入反应釜中,然后加入由铁盐,铋盐和氢氧化钾矿化剂混合而成的悬浊液中,微波加热反应25分钟,将衬底去除,经过稀硝酸,乙醇和去离子水超声清洗烘干后,得到超薄的外延铁酸铋薄膜,制备出的薄膜光亮平整,厚度超薄为200nm左右,且为(001)方向外延结构。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112408491 B
(45)授权公告日 2022.05.24
(21)申请号 202011293872.3 CN 111362309 A,2020.07.03
(22)申请日
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