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本发明属于半导体制造技术领域,公开了芯片封装方法及封装结构。该芯片封装方法包括步骤:S1、光刻,在玻璃片上光刻形成刻蚀区;S2、粘贴,在晶圆的引线管脚上粘贴UV膜;S3、连接,晶圆表面在设有感光区的一侧与玻璃片连接形成结合层,且使感光区和UV膜均与刻蚀区相对;S4、切割,将玻璃片位于引线管脚上方的部分切割去除,以使引线管脚外露;S5、划片,将结合层划片成独立的芯片单元;S6、去膜,将UV膜从引线管脚上去除;S7、接线,从引线管脚上引出金线,并使金线与基板电连接;S8、塑封,沿芯片单元外周涂覆塑封
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115831776 A
(43)申请公布日 2023.03.21
(21)申请号 202211612938.X
(22)申请日 2022.12.15
(71)申请人 湖南越摩先进半导体有限公司
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