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一种介电泳力测试芯片、测试装置及测试方法.pdfVIP

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  • 2023-05-29 发布于四川
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一种介电泳力测试芯片、测试装置及测试方法.pdf

    本发明涉及光镊测试介电泳力技术领域，公开了一种介电泳力测试芯片、测试装置及测试方法，其中测试芯片包括基底层，所述基底层上设置有电极层，所述电极层包括至少一个第一叉指电极对和至少一个第二叉指电极对，所述第一叉指电极对和第二叉指电极对的极板均竖向设置。本发明可通过测试不同电极对间微球所受的介电泳力，从而能实现不同电极对间的互感效应对芯片配对效率的影响分析，助力芯片配对性能的提高。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115825203 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202211495357.2 (22)申请日 2022.11.27 (71)申请人 南方科技大学 地址 518000

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