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本发明提供了一种MEMS声波组件及其制造方法。本发明使用围墙的凹槽实现多根导线的聚集，其可以实现差分信号的相等路径长度传输，且可以保证多跟引线的有序性和低干扰，其中在所述凹槽内，所述多个引线平行排布且相邻两根所述多根引线的间距小于每根引线的直径。并且围墙内设置可以改变大小的谐振腔，所述谐振腔可以匹配不同的声波谐振器，调谐不同声波谐振器的共振频率，其方法简便。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112422095 A
(43)申请公布日 2021.02.26
(21)申请号 202011245674.X
(22)申请日 2020.11.10
(71)申请人 山东傲天环保科技有限公司
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