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- 2023-05-29 发布于四川
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提供了分配及混合气体的设备及方法。在一示例中，一种气体分配器包含：主体，用于使得气体能进入所述主体的气体入口，用于将所述气体分配至外部部件的轨道阵列的气体出口，以及中央气体分配点，该中央气体分配点设置在所述主体内在所述轨道阵列的气体出口的中心，并且与所述轨道阵列的气体出口流体连通。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112437976 A
(43)申请公布日 2021.03.02
(21)申请号 201980048175.0 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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