电接触部和用于制造电接触部的方法.pdfVIP

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  • 2023-05-29 发布于四川
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电接触部和用于制造电接触部的方法.pdf

本发明涉及一种在重布线(2)和导体区域(3)之间的电接触部(1),其中,所述导体区域(3)布置在SOI晶片(5)或SOI芯片(5)上方的导体层(4)中,其中,在所述导体层(4)上方并且在所述重布线(2)下方布置有覆盖层(6),其特征在于,所述覆盖层(6)具有接触部区域(7),其中,所述接触部区域(7)借助于第一凹槽布置(8)相对于剩余的覆盖层(6)绝缘,其中,至少在所述接触部区域(7)中构造有开口(9),其中,在所述开口(9)中布置有金属材料(10),其中,所述金属材料(10)使所述重布线(2)

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112437751 A (43)申请公布日 2021.03.02 (21)申请号 201980044251.0 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司

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