晶片的加工方法.pdfVIP

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2023-05-29 发布于四川
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晶片的加工方法.pdf

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提供晶片的加工方法，不降低品质而形成器件芯片。该晶片的加工方法将在由分割预定线划分的正面的各区域内形成有多个器件的晶片分割成各个器件芯片，其中，该晶片的加工方法具有如下的工序：聚烯烃系片配设工序，将晶片定位于具有对晶片进行收纳的开口的框架的该开口内，将聚烯烃系片配设在晶片的背面或正面上以及框架的外周上；一体化工序，对该聚烯烃系片进行加热，通过热压接使晶片与该框架借助该聚烯烃系片而一体化；分割工序，沿着该分割预定线对该晶片照射对于该晶片具有透过性的波长的激光束，在该晶片中形成盾构隧道，将该晶片分割

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112435964 A (43)申请公布日 2021.03.02 (21)申请号 202010766592.3 H01L 21/683 (2006.01)