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一种掺镓PERC电池背面钝化膜及其制备方法与掺镓PERC电池.pdfVIP

一种掺镓PERC电池背面钝化膜及其制备方法与掺镓PERC电池.pdf

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    本发明提供一种掺镓PERC电池背面钝化膜及其制备方法与掺镓PERC电池，所述掺镓PERC电池背面钝化膜包括层叠设置的至少1层阻挡层、SiONx层与SiNx层，所述阻挡层包括层叠设置的SiOx层与AlOx层；所述制备方法包括以下步骤：(1)提供一种掺镓硅片，在所述掺镓硅片的背面沉积至少1层阻挡层；沉积每层阻挡层的方法为先沉积SiOx层后沉积AlOx层；(2)在所述阻挡层上沉积SiONx层；(3)在所述SiONx层上沉积SiNx层。本发明改善了电池在长期光照后产生的氢钝化方面的衰减，降低了电池输出功

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112447862 B (45)授权公告日 2022.06.17 (21)申请号 202011263743.X H01L 31/18 (2006.01) (22)申请

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