挡板装置、成膜装置、成膜方法及电子设备的制造方法.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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挡板装置、成膜装置、成膜方法及电子设备的制造方法.pdf

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本发明提供一种动作的稳定性、可靠性高的挡板装置作为成膜装置中具备的挡板装置。使挡板滑动移动的驱动机构具备：支承台；驱动力产生部，其产生在滑动移动的方向上对挡板作用的力；以及引导部，其一边允许挡板的宽度方向上的挡板的一端侧与另一端侧各自在宽度方向上的挡板与支承台之间的相对移动，一边在与滑动方向以及宽度方向正交的方向上支承挡板的一端侧和另一端侧，并对挡板的滑动移动进行引导，挡板的宽度方向与挡板相对于支承台的滑动方向正交。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112442660 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202010303201.4 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2