原创力文档- 2
- 0
- 约2.97万字
- 约 34页
- 2023-05-30 发布于四川
- 举报
本发明的等离子体处理装置具有：真空容器，可控制内部压力；气体供应单元；电极，设于真空容器内且于上表面载置基板；以及天线，与电极对向配置并用于形成感应耦合；形成感应耦合的天线的一端经由匹配电路连接至高频电源，天线的另一端作为开放端，天线的长度未达RF频率的波长(λ)的1/2λ，在天线的RF供电侧，连接有并联于天线的阻抗调整电路，可将阻抗调整电路所为的合成阻抗的电抗分量，相对于供应至天线的RF频率，进行自电容性负载至感应性负载的调整。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112470552 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 201980048782.7 (74)专利代理机构 上海翼胜专利商标事务所
文档评论（0）