原创力文档- 2
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- 2023-05-30 发布于四川
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公开了一种用于控制到等离子体处理装置的电压电平的双模式电源设备。该双模式电源设备包括电源连接器和控制电路。该电源连接器连接到第一电压电源或第二电压电源。该控制电路连接在该电源连接器的输出与该等离子体处理装置的第一和第二电压子系统之间。在该等离子体处理装置的第一操作模式下，该控制电路基于该第一电压电源将第一电压提供给该第一电压子系统。在该等离子体处理装置的第二操作模式下，该控制电路基于第二电压电源将第二电压提供给该第二电压子系统。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112470248 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 201980049063.7 (74)专利代理机构 上海胜康律师事务所 31263
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