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一种缺陷检测方法及缺陷检测系统，包括：提供晶圆，所述晶圆包括检测面；对所述检测面进行扫描，获取所述检测面的扫描图像，所述扫描图像包括若干第一单元图形；提供设计图像，所述设计图像包括与所述第一单元图形对应的若干第二单元图形；根据所述设计图像对所述扫描图像进行筛选，去除所述第一单元图形中的干扰缺陷单元图形。在本发明的技术方案中，通过将第一单元图形中的干扰缺陷单元图形进行部分筛选去除，有效减少了后续检测分析的第一单元图形的数量，缩短了检测时间，从而提高了检测效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112444526 A
(43)申请公布日
2021.03.05
(21)申请号 20191
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