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- 2023-05-30 发布于四川
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公开一种电化学沉积设备组和电化学沉积方法，电化学沉积设备组包括：电化学沉积装置，被配置为在基板的待镀膜区域形成电化学沉积膜层；抗氧化处理装置，位于所述电化学沉积装置的一侧，被配置为对形成有电化学沉积膜层的所述基板进行抗氧化处理；传输装置，被配置为装载所述基板，并至少带动所述基板从所述电化学沉积装置移动至所述抗氧化处理装置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112442725 A
(43)申请公布日 2021.03.05
(21)申请号 202011367346.7 C23G 3/00 (2006.01)
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