半导体器件 微机电器件 第3部分：拉伸试验用的薄膜标准试验片 编制说明.pdfVIP

国家标准征求意见资料 国家标准《半导体器件 微机电器件 第3 部分： 拉伸试验用的薄膜标准试验片》（征求意见稿）编制说明 一、工作简况 1、任务来源 本项目是国家标准化管理委员会下达的国家标准制定计划，由工业和信息化 部(电子)归口，项目计划号T-339。任务起止时间是2020年11月至2022 年5月。 2 、主要工作过程 在接到该项国家标准制定任务后，成立了标准编制组，收集了有关拉伸试验、 薄膜材料的标准，对相关标准内容进行了研究和分析工作，并进行调研走访，征 集意见和建议，按照国家标准编制程序与要求，进行《半导体器件 微机电器件 第 3 部分：拉伸试验用的薄膜标准试验片》的编制，主要编制过程如下： 1）成立标准编制组 2021 年 1 月，成立了由河北美泰公司和中电国基北方有限公司的相关设计 师、工艺师、标准化员以及相关领导组成的标准编制组，并明确分工、各阶段的 时间节点以及各阶段的主要工作内容。 2）标准资料查询、收集和分析 2021 年2 月～5 月，编制组查询、收集和分析了拉伸试验、薄膜材料相关的 国内外标准和文献资料，对标准资料进行了分析和整理。 3）标准起草