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ICS 号:31.080.99
中国标准文献分类号:L55
中华人民共和国国家标准
GB/T XXXXX—XXXX
半导体器件 微机电器件
第3 部分:拉伸试验用的薄膜标准试验片
Semiconductor devices- Micro-electromechanical devices-
part3 Thin film standard test piece for tensile testing
：
（IEC 62047-3 ：2016,IDT）
（征求意见稿）
（本稿完成日期：2021-11-30）
XXXX - XX - XX 发布 XXXX - XX - XX 实施
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