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- 2023-05-30 发布于四川
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本发明涉及惯性传感器技术领域,特别涉及一种MEMS加速度计的高精度温度补偿方法。本发明提供一种新的MEMS加速度计的高精度温度补偿方法,该MEMS加速度计的高精度温度补偿方法对MEMS加速度计在温度变化时造成的偏差进行了很好的补偿,有效的提高了测量精度,更加符合工程应用;不需要价格高昂的温控转台,也不需要非常精准的位置,可以进行批量作业,且能够实现全温全位置的补偿,有效提高补偿后的精度,间接实现了对标度因数的标定。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112578148 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 202011418600.1
(22)申请日 2020.12.07
(71)申请人 北京中弘泰科科技有限公司
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