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基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法.pdf

    本发明涉及MEMS面内动态特性测量领域，为实现MEMS器件高精度的面内动态位移特性的测量，突破现有技术的限制，得到更为清晰的图像以及精确地测量出MEMS的面内振动情况，并且能够探测MEMS器件的光学特性。为此，本发明采取的技术方案是，基于偏振成像的MEMS面内振动特性的测量方法,通过频闪补光提高图像的亮度，获得更为清晰的视频图像，将采集到的视频图像进行偏振降噪处理,增强图像的对比度，通过频闪成像的面内位移算法，计算得到MEMS器件的面内振动位移，最后通过偏振成像技术分析MEMS器件的偏振特性。本

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112461465 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202011071821.6 (22)申请日 2020.10.09 (71)申请人 天津大学 地址 30

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