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本发明公开了一种用于潮湿水环境中的载荷传感器元件,包括基底、设于基底上表面上的过渡缓冲层、设于过渡缓冲层上表面上的绝缘层、设于绝缘层上表面上的功能层、设于功能层上表面上的防护层;基底采用316L不锈钢材料制成,过渡缓冲层为CrNi膜,绝缘层为TiO2膜,功能层为FeCrMn合金膜,防护层为Al2O3膜。本发明在潮湿水环境中,载荷传感器元件可以牢固地固定于试样上,相互之间连接呈无机质化,因而消除了零点漂移和蠕变,实现了温度自补偿,从而提高了载荷传感器元件的灵敏度和测量结果的准确性的特点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112432720 B
(45)授权公告日 2022.08.05
(21)申请号 202011237588.4 C22C 38/38 (2006.01)
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