检查用导电薄片.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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提供了一种为了检查被检查器件而配置于检查装置与被检查器件之间的导电薄片。导电薄片包括沿垂直方向积层的第1薄片与第2薄片。第1薄片包括垂直方向的多个第1弹性导电部、以及使多个第1弹性导电部在水平方向上隔开并且绝缘的第1弹性绝缘部。至少一个第1弹性导电部具有相对于第1弹性绝缘部沿垂直方向突出的突出部。第2薄片包括垂直方向的多个第2弹性导电部以及使多个第2弹性导电部在水平方向上隔开且绝缘的第2弹性绝缘部。至少一个第2弹性导电部具有相对于第2弹性绝缘部沿垂直方向凹陷的凹陷部,以使第1弹性导电部的突出部在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112470012 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980049553.7 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公

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