光学指纹器件的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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本发明提供一种光学指纹器件的制造方法,采用带有红外截止滤光膜的有机透光层粘合至图像传感器晶圆,在所述有机透光层上形成若干微透镜,从而形成所述光学指纹器件,由于采用有机透光层代替了现有技术中的无机玻璃等透光材质,有机透光层的厚度通常为100μm左右,降低了光学指纹器件的厚度,并且由于有机透光层的优良强度和韧性,便于通过切割等工艺形成凹槽并填充挡光材料形成挡光结构,避免光线串扰导致的信号干扰,提高了成像质量,降低了工艺难度和成本,改善了光学指纹器件的整体性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112466896 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 20191

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