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体声波谐振器.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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体声波谐振器.pdf

    本公开提供了一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：谐振器，包括中央部和延伸部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上，所述延伸部沿着所述中央部的外周设置；以及插入层，在所述延伸部中设置在所述压电层的下方以使所述压电层升高。所述插入层可具有沿着面向所述中央部的侧表面形成的第一倾斜表面，所述第一电极可具有从所述插入层的所述第一倾斜表面的下端延伸的第二倾斜表面。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112468106 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 202010759286.7 (22)申请日 2020.07.31 (30)优先权数据 10-2019-0

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