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本发明涉及一种具有集电极多晶硅电子通道的RC‑IGBT器件,属于半导体技术领域。该器件具有以下三个特点:(1)将传统RC‑IGBT的P集电极区分割成高浓度的P+空穴区和低浓度的P型电子阻挡层两段。(2)N+集电极设置在高浓度的P+空穴区内。(3)集电极底部引入N型多晶硅层。正向导通时,通过调整多晶硅层和P型电子阻挡层的掺杂,可以改变集电极短路电阻RCS,从而完全消除snapback效应;关断时,多晶硅层可以快速提取电子,有效降低关断损耗;仿真结果表明:与TRCRC‑IGBT相比,该器件正向导通
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112466935 B
(45)授权公告日 2023.03.14
(21)申请号 202011481591.0 (56)对比文件
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