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- 2023-05-30 发布于四川
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一种双壁多结构石英筒装置，属于离子束刻技术领域。具体包括石英筒外壁，石英筒外壁内设有至少一个石英筒内衬，且二者轴心线重合，石英筒内衬与石英筒外壁之间连接有石英筒内衬支撑。石英筒外壁与所述石英筒内衬的底部连接栅网，刻蚀副产物会通过栅网的空隙绝大部分溅射到石英筒内衬的内表面，较少的刻蚀副产物会附着在石英筒外壁的内壁上，因此射频整体回路受沾污影响大大降低，换而言之刻蚀速率受沾污影响大幅度减轻，增加了石英筒装置的使用寿命，减少了刻蚀成本，增加了离子束刻蚀的MTBC时间。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112447486 A
(43)申请公布日 2021.03.05
(21)申请号 202011378056.2
(22)申请日 2020.11.30
(71)申请人 江苏鲁汶仪器有限公司
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