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2023-05-30 发布于四川
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本发明提供以下蒸镀装置：在具有多个蒸镀源和与各蒸镀源相对应的开闭器的团簇型的蒸镀装置中，不会导致装置的大型化并且能够始终监视蒸镀速率。在具有蒸镀源(1、2)和控制蒸镀源(1、2)的蒸镀、非蒸镀的开闭器(5、6)的蒸镀装置中，使开闭器(5、6)的高度彼此不同，将该开闭器(5、6)配置为在开状态下彼此重叠，并且配置有在开状态下将开闭器(5、6)之间分隔的分隔壁(12)。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112442661 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202010877099.9 (22)申请日 2020.08.27 (30)优先权数据