原创力文档- 1、本文档共10页，其中可免费阅读9页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及一种高性能光阳极BiVO4薄膜催化剂的制备方法，包括如下步骤：S1.清洗基底后干燥；S2.将基底置于沉积室，然后在基底表面采用直流磁控溅射法沉积钒酸铋薄膜，其中靶材为钒酸铋陶瓷靶，溅射时所述靶材与基底的夹角为60°‑90°，溅射气体为为氩气和氧气，总压强为0.5～2.5Pa，氧分压为5‑20%，靶材与基底的距离为7～20cm，初始基底温度为室温。本发明基于磁控溅射钒酸铋的过程靶材与基底之间的角度可调，优化制备工艺，在特殊角度可以制备出疏松结构的钒酸铋薄膜，能够增大与液相的有效接触面
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112452322 A
(43)申请公布日 2021.03.09
(21)申请号 202011231979.5 C23C 14/35 (2006.01)
文档评论（0）