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制造模制品的方法、压印-电子光刻的共同模制用抗蚀剂、制造复制模的方法、制造装置的方法和压印材料.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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制造模制品的方法、压印-电子光刻的共同模制用抗蚀剂、制造复制模的方法、制造装置的方法和压印材料.pdf

    本公开涉及一种制造模制品的方法，该方法包括：将模具压靠于可光固化的正性电子束抗蚀剂，该模具具有包括凹部或凸部或其组合的表面；用光照射被所述模具压靠的可光固化的正性电子束抗蚀剂，以使所述抗蚀剂固化，从而得到具有包括凹部或凸部或其组合的表面的正性电子束抗蚀剂的模制品；以及用电子束照射所述正性电子束抗蚀剂的模制品的表面，以在经受电子束照射的区域对正性电子束抗蚀剂的模制品进行部分分解。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112470254 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980049430.3 (74)专利代理机构 北京市铸成律师事务所

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