一种高速集成可调光延时线与制备方法.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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一种高速集成可调光延时线与制备方法.pdf

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本发明公开了一种高速集成可调光延时线与制备方法，其衬底材料为硅材料，波导材料为氮化硅光波导和铌酸锂光波导，铌酸锂材料为薄膜材料，其结构包括2×2光开关、每阶的延时线和2×1的合波器；2×2光开关由氮化硅光波导、多模干涉耦合器、铌酸锂光波导和开关电极组成；每阶的延时线包含两条不同长度的延时路径，通过光开关切换选择不同的波导路径，从而进行延时状态的切换，实现不同的延时量。本发明通过将氮化硅光波导和铌酸锂光波导结合，延时波导部分采用氮化硅，充分利用氮化硅光波导的低损耗，开关波导部分采用铌酸锂，充分利用

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112444912 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202011140985.X (22)申请日 2020.10.22 (71)申请人中国电子科技集团公司第五十五研