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一种能量密度可调整的多工作模式等离子体电源.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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一种能量密度可调整的多工作模式等离子体电源.pdf

    本发明公开了一种能量密度可调整的多工作模式等离子体电源。所述电源包括主电路和控制电路；主电路包括依次连接的整流滤波模块、全桥逆变模块、原边谐振电感模块以及中频变压器模块；所述控制电路包括DSP控制器模块、信号检测模块。本发明能够提高等离子体电源的提高驱动能力、增强等离子体电源对多种等离子体发生器的适应性、提高电源效率、改善电源的动态特性及降低软硬件成本。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112467998 B (45)授权公告日 2022.03.29 (21)申请号 202011094787.4 H02M 7/5387 (2007.01)

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