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具有集成的隧道结的垂直腔面发射激光器装置.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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具有集成的隧道结的垂直腔面发射激光器装置.pdf

    本发明描述一种垂直腔面发射激光器(VCSEL)装置(100)。VCSEL装置(100)包括第一电接触体(105)、第二电接触体(150)和光学谐振器。光学谐振器包括第一分布式布拉格反射器(115)、第二分布式布拉格反射器(125)以及用于光发射的有源层(120)。有源层(120)布置在第一分布式布拉格反射器(115)与第二分布式布拉格反射器(125)之间。第一分布式布拉格反射器(115)或第二分布式布拉格反射器(125)包括具有至少一对具有不同折射率的层的第一部分(115‑1、125‑1)和具有

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112470352 A (43)申请公布日 2021.03.09 (21)申请号 201980019325.5 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司

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