一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置.pdfVIP

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  • 2023-05-30 发布于四川
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一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置.pdf

本发明公开了一种适用于12寸半导体晶棒粘接缓存台装置,包括工作台,工作台的底部四角固定安装有四根支撑腿,支撑腿的底部转动安装有万向轮,支撑腿之间分别固定安装有侧板和后板,两根支撑腿相同的侧面分别固定安装有铰链,铰链远离支撑腿的端部转动安装有两个门板,门板的一侧分别固定安装有把手;工作台的顶部一侧固定安装有后挡板,后挡板的一侧固定安装有若干天线支架,天线支架远离后挡板的一侧设有若干晶棒粘接缓存组件,晶棒粘接缓存组件靠近天线支架的一侧顶部固定安装有RFID读取装置,晶棒粘接缓存组件之间固定安装有隔料

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112440192 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202011466324.6 (22)申请日 2020.12.14 (71)申请人 中环

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