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本发明公开一种应用于狭窄空间的三室镀膜机,应用于狭窄空间的三室镀膜机包括第一流转平台、第一处理室、镀膜室、第二处理室、第二流转平台、连接平台以及多个承载架,所述镀膜室的两侧分别与所述第一处理室和所述第二处理室连通,所述第一处理室远离所述镀膜室的一侧与所述第一流转平台连通,所述第二处理室远离所述镀膜室的一侧与所述第二流转平台连通,所述连接平台的一端与所述第一流转平台相连通,所述连接平台的另一端与所述第二流转平台相连通,以使所述第一流转平台、连接平台以及第二流转平台呈U型,所述承载架用于承载工件在所
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112458425 B
(45)授权公告日 2022.06.28
(21)申请号 202011188916.6 C23C 14/35 (2006.01)
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