一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法.pdf

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本发明提供一种晶棒线切割加工过程中断线复旧的方法，把原来用气枪吹硅片，改为用水枪喷硅片，且控制水枪喷硅片时的水压，保证硅片不会破损；断线后把晶棒升起，把机台的研磨液桶移开，避免有水流入研磨液；接2根水管，水管直径在10mm左右即可，使用车间内的常规纯水，管头使用淋浴喷头，水流量控制在3L～5L/min。把硅棒清洗干净，特别是硅片与硅片之间要完全没有黑水流出，目视喷洒的水能利用水自身的张力把硅片撑开，解决复旧中不易吹开缝隙，容易产生裂片的问题。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112428463 B (45)授权公告日 2022.01.07 (21)申请号 202011300999.3 B28D 7/02 (2006.01)