具有滑动引导件的销升降装置.pdfVIP

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2023-05-30 发布于四川
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具有滑动引导件的销升降装置，尤其是销升降器，其被设计用于在可由真空处理室提供的处理大气区域中移动和定位基板。销升降装置具有联接部分，其具有形成为接收设计成接触并承载基板的支撑销的联接器，并且还具有驱动单元，其被设计成与联接器相互作用，使得联接器能沿调节轴线从降低的正常位置线性地调节到延伸的支撑位置并返回。联接部分具有可沿调节轴线移动的滑动引导元件，其中滑动引导元件联接到驱动单元并且滑动引导元件具有至少一个滑动元件，其中滑动元件与由联接部分提供的引导表面相互作用，以使得滑动引导元件可沿调节轴线并且

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112447580 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 202010877763.X (22)申请日 2020.08.27 (30)优先权数据 102019006