原创力文档- 2
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- 2023-05-30 发布于四川
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确定工件上特征的3D测量，例如球高、共面性、组件厚度或翘曲。系统包含宽带光源、微透镜阵列、可调谐彩色滤光器、透镜系统及检测器。所述微透镜阵列可将光束聚焦到所述微透镜阵列的焦平面中的点。所述可调谐彩色滤光器可使所述光束收窄到中心波长处的频带。所述透镜系统可提供纵向色差以借此使不同波长成像在距所述透镜系统的不同距离处。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112469961 B
(45)授权公告日 2022.06.07
(21)申请号 201980048978.6 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限
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