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本发明涉及一种薄膜探针卡及其探针头，该薄膜探针卡包括薄膜探针头（3），该薄膜探针头（3）包括支撑体（31）、薄膜（32）、探针（33）、互连线（34）；所述支撑体（31）的作用面（311）与薄膜（32）之间垫设有一支撑弹性层（35），该支撑弹性层（35）包括第一弹性体（351）和第二弹性体（352），第一弹性体（351）和第二弹性体（352）的弹力不相等，第一弹性体（351）和第二弹性体（352）在一个平面上相拼合，其连接处相抵形成拼接缝（354）；所述探针（33）与拼接缝（354）相对应，探针
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114200279 A
(43)申请公布日 2022.03.18
(21)申请号 202111431283.1
(22)申请日 2021.11.29
(71)申请人 强一半导体（苏州）有限公司
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