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本发明涉及氮化镓制备技术领域，揭露了一种用于实现氮化镓制备场景下的设备组合分析方法及系统，该方法包括：获取氮化镓在目标制备场景下的初始设备组合方法，查找初始设备组合生成的氮化镓之别制备数据，提取氮化镓制备数据中预设制备指标的指标数据，并计算每个指标数据的指标权重；根据指标数据及对应的指标权重查找与初始设备组合方法之间相近的设备组合实例集；计算设备组合实例集中实例指标数据与指标数据之间的数据差异，根据数据差异生成优化设备组合方法；初始化氮化镓制备约束条件，根据所述约束条件对优化设备组合方法进行优化
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115935723 A
(43)申请公布日 2023.04.07
(21)申请号 202310227503.1 G06F 111/04 (2020.01)
(22)申请日 2023.03
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