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本发明公开一种振动网式雾化器及其制作方法。所述制作方法包括：制作网孔模板，其中所述网孔模板具有凸柱阵列；在所述网孔模板上旋涂网孔材料以形成网孔结构层，所述网孔结构层覆盖所述网孔模板的表面和所述凸柱阵列；刻蚀所述网孔结构层直至暴露出所述凸柱阵列；去除所述网孔模板，以获得振动膜片，其中所述振动膜片的与所述凸柱阵列正对的位置形成若干网孔。上述振动网式雾化器可以实现从低粘度到高粘度液体的常温雾化，且雾化充分、雾化液滴体积小、流量大，网孔表面平整、坚固又易于清洗，同时该制作方法工艺稳定、易于重复。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112517308 B
(45)授权公告日 2022.04.01
(21)申请号 201910875321.9 B29D 28/00 (2006.01)
(22)申请日
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